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小巧又功能强大的手持式控制器该套装的控制器采用MicroUSB充电线和5号电池双电源供电，用电池供电时可以显示剩余电量，还可以设置自动关闭时间来节省电量，带背光的LED显示屏让真空读数在阳光下和漆黑的环境中都清晰可见。inficon可以设置Pa,kPa,mbar,Torr,mTorr等11种压力单位，还可以选择自然计数或者科学记数法来显示读数。

如果你设置一个报警值，它还可以在真空泵抽到某个真空度时给出声音提示，这样就不用一直盯着真空读数了。有经验的工程师通常可以通过分析压升或者压降的曲线来判断系统是否泄漏或者判断故障的原因，inficon控制器可以记录并显示压力曲线，并且可以根据压力的变化直接显示实时的状态：

抽气（Pump），压力在不断下降

稳定（Stable），压力保持不变

放气（Outgas），压力在不断上升，但压升率越来越小

泄漏（Leak），压力在不断上升，但压升率没有明显的变化

控制器的背后带可收起的支架，可以斜着立在桌面上；还有磁铁，可以吸在管道，机架，甚至泵身上。连接规管的螺旋软线方便收纳， 很长可以拉到2米多。柔软的橡胶保护套使控制器握感舒适，又耐磨耐摔。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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空检漏的意义？

答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

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真空计的分类及原理

真空计（VacuumGauge）,又称真空规，是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能，利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和电热偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

1、波尔登规（Bourdon）2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电偶规5、热阴极电离规6、冷阴极电离规

真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

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